반도체 장비업체인 피에스케이테크(대표 박경수)가 경기도 평택에 신공장
을 완공하고 반도체 장비인 애셔의 생산에 들어갔다.

7일 이회사는 평택시 송탄공단에 20억원을 투자해 건평 1천2백평 규모로
최첨단시설을 갖춘 연산 5백억원규모의 플라즈마 애싱 장비생산및 조립시설
을 완공했다고 밝혔다.

애셔는 반도체 웨이퍼를 만드는 사진(포토)공정에서 고순도 화학약품을
사용하여 유기재료를 제거하는 장비로 이회사의 플라즈마애셔는 오존가스
플라즈마를 이용하여 유기재료를 제거하는 것으로 반도체 패턴의 손상을 일
으킬 우려가 있는 기존 애셔의 기능적 단점을 개선했다.

신공장의 생산규모는 애셔장비가 연간 1백대,에처장비가 20대규모이며 올
해는 반도체 제조용제품 2백35억원어치와 LCD용등 총3백30억원어치를 양산
할 계획이다.

이와함께 98년까지 신공장 옆에 공장을 추가 신축해 생산규모를 현재의 두
배 수준으로 늘릴 예정이다.

이회사는 또 그동안 한번에 웨이퍼 50장을 가공하는 주력 배치타입제품을
생산해왔는데 주문형반도체시대에 대응한 싱글타입 애셔를 개발,올하반기에
생산할 예정이다.

지난90년 일본의 플라즈마 시스템등과 합작으로 설립된 피에스케이는 반
도체 산업용 플라즈마 애셔를 전문적으로 제작해왔으며 이번 국산화 생산과
함께 올해부터 일본에 장비 부품의 역수출을 시작할 계획이다.

올해 매출목표는 3백30억원이다.

< 고지희기자 >

(한국경제신문 1996년 6월 8일자).