[국제면톱] 일 NEC, 64기가 D램 파일럿 라인 추진

세계 2위의 반도체 업체인 일본 NEC는 앞으로 10년간 총 2천억엔(약 20억
달러)를 투자, 일본 사가미하라시에 64기가비트 D램 파일럿(실험생산)라인을
건립할 계획이라고 22일 발표했다.

NEC는 64기가비트 D램 기술이 현재 개발단계에 있는 점을 감안, 4메가-
16메가-64메가 D램등 3단계에 걸쳐 연차적으로 파일럿 라인을 구축할
방침이라고 설명했다.

NEC는 이달안에 이 공장 건설에 착공,오는 97년 10월 1단계 공사를 마무리
짓고 8인치 웨어퍼에 0.15미크론 선폭의 회로를 새긴 1기가및 4기가 D램
실험생산에 들어갈 예정이다.

또 2단계에서는 12인치 웨이퍼를 이용, 0.1미크론 선폭의 16기가 D램을
실험 생산할 방침이다.

마지막 3단계에서는 12인치및 16인치 웨이퍼에 0.07미크론 선폭의 미세
가공기술을 적용, 64기가 D램을 파일럿 생산하게 된다.

한편 이날 미쓰비시전기도 3백억엔(약 3억달러)를 투자, 오는 97년초까지
64메가D램 생산공장을 건설한다고 밝혔다.

미쓰비시는 이를위해 기존 사이조공장에 새 라인을 구축, 오는 97년 봄부터
월 40만-90만개의 64메가D램을 생산할 계획이다.

세이코엡슨도 7백억엔(7억달러)을 들여 내년말까지 야마가타현에 반도체
공장을 신설할 계획이다.

이 공장에서는 8인치 웨이퍼를 월 1만5천장 생산, 주문형 IC(집적회로)와
S램등을 양산하게 된다.

(한국경제신문 1996년 4월 23일자).