한국전자통신연구소(ETRI)가 초소형기계에 사용되는 미세구동체(마이크로
액추에이터) 제작기술을 개발, 시제품을 만들었다.

26일 ETRI는 반도체연구단 기반기술연구부 이종현박사팀이 불화수소(HF)
기상식각기술을 이용해 미세구동체를 만드는데 성공했다고 밝혔다.

이 미세구동체는 빗 2개를 겹친 것과 같은 형태로 하나는 기판에 만들어
두고 다른 하나는 기판위에 1마이크론(1백만분의1m) 가량 띄워 스프링으로
기판에 연결돼있다.

이번에 제작한 미세구동체는 빗살길이가 25마이크론, 빗살간격이 2마이크론
으로 10V의 전압을 걸면 진폭 2마이크론으로 고속 진동한다.

이박사는 미세구동체는 마이크로자이로및 가속도계등의 정보통신용센서나
마이크로릴레이등을 구성하는 핵심요소로 내년부터 정부가 추진하는
정보통신용 센서개발사업에 활용할 계획이라고 설명했다.

< 정건수 기자 >

(한국경제신문 1995년 11월 27일자).