<해외경제>캐논, 64메가DRAM양산용스테퍼개발[일공업신문]

입력1994.07.13 00:00 수정1994.07.13 00:00

일본 캐논은 64메가DRAM의 본격 양산에 대응할수있는 고성능스테퍼

(축차이동식 축소투영형 노광장치) ''FPA-3000i4''를 개발, 10월 시장에

투입한다. i선전용 축소투영렌즈를 새로 개발, 22밀리각 대화면에서

개구율 0.63, 선폭0.35미크롱이라는 초해상도를 달성했다. 표준가격은

3억5,000만엔부터. FPA-2000,2500시리즈에 이은 i선스테퍼의 제3탄.

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