가스장비업체인 한양기공(대표 김재욱)이 웨이퍼를 닦아주는 풀오토웨트
(WET)스테이션과 스핀드라이어를 국산화, 반도체장비사업을 확대한다.

16일 이회사는 지난 3년동안 6억원의 연구개발비를 들여 지금까지 전량
일본등지에서 수입해온 이들장비를 개발하고 수요업체에 공급키로 했다고
밝혔다.

반도체용 웨트스테이션은 반도체가공에 필수적인 장비로 반송장치 웨이퍼
처리조 건조 제어시스템등 복잡한 설계기술을 필요로 하는 주문형 제품이다.

회사측은 경기 안산공장에서 반도체업체의 주문에 따라 다양한 모델을
공급키로 했으며 현대전자로부터 8인치웨이퍼용 풀오토 클리닝스테이션의
주문을 받고 장비를 생산중이다.

한양기공은 세정공정후 건조을 위한 스핀드라이어도 개발했다. 이장비는
건조과정에서 발생할수 있는 오염을 최소화시키고 수율을 향상시킨게
특징이다.

이회사는 반도체장비사업을 확대하고 생산공정과 관련한 새 시스템을
개발, 공급하기 위해 미국 아시스트사와 합작계약을 맺었고 토털종합가스
장비업체로 자리잡기 위해 미국의 에어프로덕트사와 합작공장설립문제를
협의중이다.

지난 87년 가스장비업체로 출범한 이회사는 92년부터 웨트장비사업을
추가, 국내업체에 튜브클리너를 공급해왔고 일본에도 역수출했다.

한양은 올 매출을 1백50억원으로 지난해보다 30% 늘려잡고 있다.