*** 클래스1급 터널형 첫제작 ***
반도체제조, 생명과학연구나 의약품산업, 뇌등 정밀수술에 필수적인
클래스1급의 초정정(슈퍼클린룸)기술이 국내에서 개발됐다.
*** 기계연구소 김광영 박사팀 ***
6일 한국기계연구소 김광영박사는 청정설 전문업체인 신성엔지니어링과
공동으로 국내 처음 클래스1급의 터널형 연구용청정실을 자체기술로
설계 제작했다고 밝혔다.
김박사는 "클래스1은 직경 1미크론(1미크론은 100만분의 1m)이상인 입자가
1평방피트당 1개이하인 초정정상태를 나타내는 것으로 4메가D램급 이상의
초대규모집적회로 (VLSI)생산이나 초정밀기계, 의약품공장이나 수술실등
첨단분야 연구개발및 산업에 필수적인 기술"이라고 설명하면서 국내에서는
일부 반도체회사에서 사용되고 있으나 기본설계는 외국기술에 의존하여
관련장치도 선진국기술을 모방생산 하거나 수입하는 실정이라고 소개했다.
김박사팀은 과기처 특정연구과제인 클래스1초청정장치개발에 관한
연구를 통해 공기누설이 거의없고 시공및 개/보수도 편리한 클린룸의
시스템밀폐장치를 개발, 연구용청정실에 적용했다는 것.