실리콘웨이퍼 개발생산 활기

*** 업계, 기술도입/설비확충 본격화 ***
반도체의 핵심소재인 실리콘웨이퍼 개발생산이 활기를 띠고 있다.
25일 관련업계에 따르면 국내 2개 실리콘웨이퍼 생산업체인 럭키소재와
코실은 기술도입및 개발을 본격화하는 동시에 생산성을 점차 늘리고 있다.
럭키소재는 미국의 실텍사와 기술제휴로 실리콘단결정성장, 절단, 연마
가공등 전반적인 가공기술에 대한 특허사용권및 관련기술을 일괄도입, 지난
87년3월부터 실리콘웨이퍼 생산을 개시, 연간 3,000만평방인치 상당의 물량
을 공급하고 있다.
이 회사는 실리콘웨이퍼의 생산공정중 웨이퍼의 초기특성을 결정짓는 핵심
기술인 단결정생산기술을 보유하고 있는 것으로 알려졌는데 최근 8인치
웨이퍼수요에 대비, 공급준비에 한창이다.
동부산업과 미국의 몬산토와의 50대50의 합작회사인 코실은 지난 86년11월
공장준공이후 웨이퍼제조공정 가운데 마지막 단계인 폴리싱이후 단계의
웨이퍼제조공정과 관련된 기술을 몬산토로부터 일괄 도입, 생산에 들어갔는데
금년초부터 제2단계사업추진의 일환으로 실리콘 단결정봉을 들여와 자르는
슬라이싱공정을 수행하고 있다.
연산 3,200만평방인치의 생산능력을 보유하고 있는 이 회사는 생산수준이
연간 4,000만-5,000만평방인치에 이르면 결정성장공정을 도입할 계획이다.
한편 동부그룹이 올해부터 반도체사업을 동부산업에서 동부제강으로 이관
함에 따라 연내에 인천이나 대전에 독립연구소를 설립, 파일럿플랜트를
건설, 파일럿 플랜트생산에 나서는 한편 앞으로 500억-1,000억원을 들여
양산체제공정을 건설하고 오는 91년부터 본격생산에 들어간다는 것이다.