반도체 및 태양전지 장비업체인 테스는 9일 자사의 PECVD ACL(Model:CHALLENGER300) 장비가 삼성전자로부터 양산공정 성능평가 인증을 획득했다고 밝혔다.

테스가 최초로 국산화에 성공한 ACL장비는 강도가 높은 비정질탄소박막(Amorphous Carbon Layer)을 입히는 플라즈마 화학 기상 증착 장비(PECVD)로, 공정이 미세화될수록 원가절감과 수율향상에 기여할 수 있다.

특히 이 장비는 테스가 '상생프로젝트' 개발 사업자에 선정돼, 국내 반도체 3사와의 협력을 통해 국산화한 장비로 소자업체와 장비업체간 대표적인 상생협력 성공사례로 꼽힌다.

회사 관계자는 "이번 인증서 획득은 반도체 장비의 가장 중요한 요소인 신뢰성 확보와 외산장비에 비해 낮은 점유율에 머물고 있는 국산 전공정장비의 점유율 확대가 가능해 의미가 크다"며 "양산라인에서 성능평가를 수행해 인증까지 획득한 만큼 고객 다변화를 통해 매출신장에 기여할 수 있을 것으로 기대한다"고 말했다.


한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com