대만 TSMC "3나노 칩 양산에 재생수 사용 확대"

세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 업체인 대만 TSMC가 3나노(㎚, 10억분의 1m) 공정 반도체의 양산 확대에 따라 재생수 사용을 늘리겠다는 계획을 밝혔다.

1일 자유시보 등 대만언론에 따르면 TSMC는 최근 대만 경제부 수리서가 발표한 수자원 관련 지침에 따라 "공업용수의 공급 부족에 따른 위기관리를 위한 대응 조치 및 공장 내부의 절수 강화에 나섰다"면서 이같이 밝혔다.

이어 재생수 시스템 설비의 효율 강화로 지난해 누적 재생수의 양이 2억1천500만㎥에 달했으며 지난해 335만㎥를 추가로 절수했다고 덧붙였다.

TSMC는 공장 내 공업용수 재사용의 효율 개선과 재생수 관련 기술의 발전을 위해 노력하고 있다고 설명했다.

아울러 대만의 첫 민간 재생수 공장인 남부 타이난과학단지의 TSMC 재생수 공장이 지난해 9월 가동을 시작해 단지 내 공업폐수를 재생수로 처리해 전 세계 반도체 업계 최초로 선진 반도체 제조 공정에 투입하고 있다고 강조했다.

게다가 남부 타이난 안핑 지역의 재생수 공장을 올해 완공해 3만5천㎥에 달하는 재생수를 매일 남부과학단지에 공급할 예정이라고 덧붙였다.

이를 통해 단지 내 수돗물 사용량을 점차 줄여나갈 예정이라고 전했다.

TSMC는 과학단지 통계를 인용해 북부 신주, 중부 타이중, 남부 타이난 등의 TSMC 용수 공급이 지역별로 각각 12%, 3.8%, 13.6%에 달했다고 전했다.

그러면서 타이난과학단지 내 TSMC 공장의 지난 5월 용수 사용량이 하루 23만4천700㎥로 7%의 월 증가율을 보인 이유가 3나노 제조 공정의 생산 시설이 늘어난 것과 연관이 있다고 추정했다.

대만은 지난 2021년 100년만의 최악의 가뭄을 겪은 이후 지방정부와 업계에서 모두 용수난 부족에 대처하기 위한 조치를 강화해 왔다.

타이중시 중부과학단지 관리국은 지난해 12월 '중부과학단지 타이중 단지 확장건설 2기 개발계획'의 세 번째 환경영향평가 예비심사 회의에서 공업용수의 100% 재생수 사용을 약속하면서 생활용수는 재생수 설비 점검 등의 경우에만 대비용으로 사용할 것이라고 밝혔다.

당시 TSMC 관계자도 2050년 탄소중립 달성을 위해 녹색에너지 사용량을 2030년에 40%로 늘리고 2050년에는 100% 달성하겠다고 약속했다.

/연합뉴스