에스엔유는 원자층 증착장치에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했습니다.



에스엔유 측은 "본 특허는 기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있는 원자층 증착장치에 관한 것"이라고 밝혔습니다.


김도엽기자 dykim@wowtv.co.kr
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