테스, 가변형 샤워 헤드 특허 취득

입력2012.12.11 13:38 수정2012.12.11 13:38

테스는 11일 가변형 샤워 헤드 특허를 취득했다고 공시했다.

회사측에 따르면 이번 특허로 웨이퍼의 전면에서의 공정 균일도를 향상시킬 수 있고, 공정가스의 확산을 촉진시키며플렉서블 하판에 가해지는 하중을 줄일 수 있다.

한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com

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