시노펙스, 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 개발

시노펙스(대표 손경익)는 웨이퍼 가공시 발생되는 폐수를 재활용 하는 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템을 국내 최초로 개발에 성공했다고 밝혔습니다.

시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 반도체 제조 공정 중 발생하게 되는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리, 정제해 재활용을 가능하게 하는 설비입니다.

기존에는 웨이퍼 폐수의 주 성분인 SIC, 냉각제, 물 등을 처리하기 위해 원심력을 이용한 분리기로 물질을 분리하거나 생물학적 처리, 소각 등의 과정을 거쳐야 했습니다.

하지만 이번 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 개발로 폐수의 98%이상 재활용함으로써 30%이상의 원가절감을 하게 됐다고 시노펙스는 설명했습니다.

이 시스템은 폴리아크릴로니트릴계 분리막을 탑재해 복잡한 처리 과정을 한번에 일괄 처리할 수 있으며 수명을 10개월 이상으로 연장해 처리용량도 2~3배 확대됐다고 회사 측은 덧붙였습니다.

손경익 시노펙스 대표는 "웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 산업현장의 친환경 설비

로 현재 특허 출원을 준비 중"이라며 "국내뿐 아니라 세계 시장의 진출 등 적극적인 마케팅을 진행할 예정"이라고 말했습니다.

국제 시장조사회사인 가트너 데이터퀘스트는 세계 웨이퍼 폐수 처리 시장의 경우 약 5000억원 규모로 미래산업인 태양광, 반도체 부분 등의 시장이 각광받게 됨에 따라 시장 규모도 더욱 커질 것으로 전망했습니다.

김정필기자 jpkim@wowtv.co.kr