반도체 및 태양전지 장비업체인 ㈜테스가 삼성전자와 공급계약을 체결, 고객 다변화에 성공했다.

테스(대표 주숭일)는 20일 삼성전자에 41억원 상당의 PECVD ACL장비(장비명:챌린저300ST/Challenger300ST)를 공급키로 했다고 공시했다. 이 는 작년 매출액의 9%에 해당한다.

테스는 반도체 전공정 핵심 장비인 PECVD ACL장비의 고객을 하이닉스반도체에서 삼성전자로 다변화해, 기술력과 성장성을 인정받게 됐다.

테스가 공급하기로 한 장비는 반도체 웨이퍼 위에 비정질탄소막을 입히는 플라즈마화학기상증착장비(PECVD)이다. ACL장비는 단단한 비정질탄소막을 증착해 하드마스크로 사용돼 감광막의 두께를 감소시키고 식각 선택비를 개선시킬 수 있어 60나노(nm)대 이하의 미세 패턴 형성시 사용빈도가 높아지는 특징이 있다.

특히 이 장비는 테스가 반도체 장비재료 성능평가 사업인 '상생 프로젝트' 개발사업자에 선정, 국산화한 장비다. 삼성전자 양산라인에서 1년여에 걸쳐 성공적으로 평가를 마무리해 최근에 양산성능평가 인증을 받았다.

회사측은 반도체 소자기업과 장비기업간 상생협력의 결과물로 반도체 양산라인에 적용하게 되어 의미가 더욱 크다고 강조했다.

회사 관계자는 "PECVD ACL장비는 테스가 자체기술력으로 국산화한 장비로 외산장비의 수입대체 효과는 물론 공정미세화가 진행될수록 ACL 장비수요가 늘어 앞으로 회사의 실적향상에 크게 기여할 것"이라고 기대했다.

주숭일 테스 대표는 "이번 수주를 시작으로 이번 3분기는 수주활동이 활발해져 뚜렷한 실적개선이 예상된다"며 "지속적인 연구개발을 통해 반도체 및 태양전지 장비의 국산화에 매진할 것"이라고 말했다.


한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com