에이티피씨, 300㎜ 웨이퍼 식각장비 국산화

에이피티씨(APTC)가 300mm 반도체 웨이퍼 산화물 식각 장비를 국산화하는 데 성공했다.

에이피티씨(대표 김남헌ㆍ허흥무)는 반도체 공정 핵심장비인 300mm 반도체 웨이퍼의 산화물 식각 장비를 최근 개발,하이닉스반도체에 공급했다고 2일 밝혔다.

에이피티씨는 그동안 하이닉스반도체에 200mm 금속 식각 장비를 공급해 왔으며 이번에 생산성이 높은 300mm 반도체 웨이퍼의 산화물 식각 장비를 개발하기 위해 하이닉스와 1년여의 공동작업을 해왔다.

반도체 식각 장비는 반도체 웨이퍼 위에 레지스터나 하드 마스크로 형성된 회로 패턴의 하부막을 제거하는 공정에 쓰이는 주요 장비다.

오영근 에이피티씨 연구소장은 "300mm 반도체 웨이퍼 식각장비(대당 30억원대)를 국산화해 하이닉스에 공급함으로써 연간 5000억원에 이르는 국내 반도체 식각장비 시장에서 상당한 수입대체 효과를 거둘 것"라고 밝혔다.

에이피티씨는 2002년 설립된 후 2006년 정밀기술진흥대회 대통령상과 2007년 반도체 기술대상 국무총리상을 받았으며 올해 하반기 코스닥시장 진출을 추진하고 있다.

임기훈 기자 shagger@hankyung.com