풍산, 반도체 장비사업서 신동력 찾는다

풍산이 새로운 미래 성장동력으로 육성하고 있는 반도체 재료 및 장비사업에 박차를 가하고 있다.

9일 업계에 따르면 풍산 계열사인 풍산마이크로텍은 지난해 말 반도체 장비사업에 진출한 데 이어 최근 저온·고압 열처리 장비를 개발,미국과 국내에 특허를 출원했다.

저온·고압 열처리 장비는 차세대 반도체 사업을 좌우할 고유전율물질(High－K)의 열처리에 사용되는 장비로,풍산마이크로텍은 다음 달부터 이 장비를 양산할 계획이다.

풍산마이크로텍은 또 반도체 재료인 리드프레임 생산에 사용되는 방열판(반도체 내에서 발생되는 열을 방사시키는 판) 부착장치 관련 특허를 최근 취득했다.

풍산 관계자는 "동제품과 방위산업 분야에서 안정적인 성장을 이룩해 왔으나 최근 원자재 가격이 급등하고 시장 환경이 불투명한 상황"이라며 "앞으로 반도체장비 사업과 정밀센서 사업으로 지속적인 성장을 이룰 것"이라고 말했다.

김홍열 기자 comeon@hankyung.com