19일 신성이엔지는 기판 부상장치용 위치정렬기구에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 회사측은 이 특허기술을 기판 공기부상 이송시스템의 기술선점을 통한 공정 자동화시스템 사업의 경쟁우위 확보에 활용할 계획이라고 밝혔다. 한경닷컴