국내 코스닥 등록기업인 파이컴이 반도체 테스트 장치인 프로브 카드(probe card？사진) 특허무효소송에서 미국 폼팩터사에 패했다. 프로브 카드는 반도체 웨이퍼와 테스트 기기를 연결해 전기신호를 전달하는 장치로,세계 시장이 연간 8천억원에 이르고 있으며 국내 시장도 연간 8백억원 규모인 것으로 추정되고 있다. 10일 업계에 따르면 특허심판원은 파이컴이 "미국과 일본에서 이미 사용된 기술"이라며 폼팩터사의 '프로브 카드(탐침카드)조립체' 특허에 대해 제기한 등록무효심판에서 "폼팩터사 특허는 기존 기술에 비해 진보된 기술"이라고 판정했다. 이에 대해 파이컴 측은 항소를 준비하고 있는 것으로 알려졌다. 폼팩터사는 "파이컴의 차세대 프로브 카드인 멤스(MEMS;초소형 미세공정 시스템) 카드가 자사 프로브카드 특허를 침해했다"며 지난해 초 서울중앙지방법원에 특허침해금지소송을 냈다. 이에 맞서 파이컴은 폼팩터사를 상대로 지난해 3월 특허등록무효심판을 제기했었다. 파이컴은 2003년 8월 멤스기술을 이용해 폼팩터에 이어 세계 두번째로 1회에 웨이퍼를 1백28개까지 테스트 할 수 있는 프로브카드인 멤스카드를 개발했다. 멤스카드 이전에 국내에서 생산되던 프로브 카드의 경우 1회 테스트 할 수 있는 웨이퍼 수가 32개에 불과했다. 파이컴은 종전 폼팩터사로부터 프로브 카드를 공급받아온 하이닉스반도체에 멤스카드를 납품해 지난해 1백50억원의 매출을 올렸으며 올해엔 3백억원의 매출을 올릴 계획이었다. 그러나 이번 판정으로 인해 이 같은 사업계획이 차질을 빚게 될 것으로 우려된다. 파이컴 관계자는 "폼팩터사의 특허가 인정된다 하더라도 멤스카드와는 다른 기술로 판단된다"며 "특허심판원에 권리범위확인심판을 제기할 예정"이라고 밝혔다. 임도원 기자 van7691@hankyung.com