반도체를 비롯 디스플레이 LCD 소자 제조 공정에서 핵심 공정으로 꼽히고 있는 플라즈마 분석장비 제조 업체인 플라즈마트가 '더블 랑뮤어 프로브 방식의 플라즈마 측정 및 모니터링 기술'을 개발,올 1분기에 KT마크를 획득했다. 액체 기체 고체에 이어 제4의 상태로 일컬어지고 있는 플라즈마는 원천기술에 가깝기 때문에 다양하게 응용될 수 있다. 특히 기체보다 입자가 안정된 상태에서 작업을 진행할 수 있으며 자체적으로 화학적 반응이 가능한 친환경 기술이다. 따라서 플라즈마를 이용한 반도체 LCD 제조에 관심이 집중되고 있다. 그러나 플라즈마는 엄청난 압력과 높은 온도에서 만들어지기 때문에 정밀한 계측 및 분석이 필수적인 것으로 지적되고 있다. 한국과학기술원(KAIST) 저온 플라즈마 연구실의 축적된 기술과 플라즈마 전문인력을 바탕으로 2000년 4월 설립된 플라즈마트는 플라즈마 발생장치,플라즈마 계측장비,플라즈마 표면처리장치 등 플라즈마 관련 공정 및 장비를 개발 제작 판매하는 회사다. 플라즈마트가 이번에 개발한 계측기는 플라즈마 공정에서 플라즈마 상태를 정밀하게 측정하거나 감시하는 장치로 플라즈마의 공간적 균일도,시간적 안정성,공정의 재현성 등을 측정하는 기기다. 특히 이온밀도를 비롯 전자온도,플라즈마 전위,부유전위,이온 포화전류 측정을 통한 플라즈마 특성을 자세히 진단할 수 있다. 아울러 자동 데이터 해석기능을 비롯 데이터 재해석을 위한 매뉴얼 피팅 기능 등 각종 소프트웨어 기능도 갖추고 있다. 이에 따라 이 분석기를 활용,반도체 및 LCD 제조 공정에서 불량률을 현저히 낮춰 생산 원가를 절감할 수 있으며 LCD 제조 공정에서 정밀한 공정의 구현에 활용될 수 있으며 효율성도 향상시킬 수 있다. 플라즈마트는 이 기술과 관련된 시장이 2006년께 가서는 1억달러 규모로 커질 것으로 내다보고 있다. 특히 나노기술이 발달하면서 시장 규모는 더욱 더 커질 것으로 기대하고 있다. 오춘호 기자 ohchoon@hankyung.com