주성엔지니어링은 LG필립스LCD와 대만CMO사에 6세대 LCD 장치와 5세대 LCD 장치에 대한 공급계약을 각각 체결했다고 1일 밝혔다. LG필립스LCD에 3대가 공급되는 6세대 LCD용 PECVD(플라즈마 화학증착장치)는 주성이 지난 8월에 국내 최초로 개발한 장치로 5세대에 비해 더욱 커진 기판을 처리하면서도 기존 5세대와 같은 막균일도를 유지할 수 있는 특징을 지녔다. 또한 6세대 장치의 생산성 저하 문제를 극복, 오히려 5세대 장치보다 생산성을 25% 확대했다고 회사측은 설명했다. 이와 함께 대만 CMO사에 3대를 공급하게 된 5세대 LCD용 PECVD장치 가운데는 CMO사가 내년 3.4분기부터 가동 예정인 5.5세대(1천300 X 1천500)라인의 첫번째 CVD장치도 포함돼 있다고 회사측은 말했다. (서울=연합뉴스) 김남권기자 south@yna.co.kr