주성엔지니어,박막증착방법에 대한 특허 취득

입력2006.04.04 08:07 수정2006.04.04 08:09

주성엔지니어는 5억원을 투자한 회전형 가스분사기를 가지는 반도체소자 제조장치 및 이를 이용한 박막증착방법에 대한 특허를 취득했다고 9일 공시했다. 한경닷컴 김희수 기자 hskim@hankyung.com

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