한국원자력연구소 전병진 박사(하나로운영부 부장)는 연구용 원자로인 '하나로'를 이용해 부도체 실리콘을 고품질 실리콘 반도체(NTD Si)로 변환시킬 수 있는 기술을 개발했다고 15일 밝혔다. 우리나라에 하나뿐인 고성능 연구용 원자로인 하나로의 운영 책임을 맡고 있는 전병진 박사는 부도체 실리콘에 중성자를 쬐여 기존 제품에 비해 품질이 뛰어난 대전력용 실리콘 반도체를 만드는 기술을 개발했다. 이 기술을 이용해 만든 실리콘 반도체는 컴퓨터에 사용되는 것이 아니라 대용량의 전력을 변환시켜주는 전력용 기기에 적용되는 것으로 연간 시장 규모가 1백억원대로 추산되고 있다. 전 박사는 "하나로를 이용,양질의 실리콘 반도체를 생산하는 중성자 핵변환도핑(NTD)서비스가 가능한 기술을 개발했다"면서 "한번에 직경 5인치,길이 30cm짜리 단결정 2개 또는 길이 60cm짜리 단결정 1개를 도핑할 수 있다"고 말했다. 그는 또 하나로를 연간 2백일 운전할 경우 15t,2백50일 운전하면 20t을 생산할 수 있다고 덧붙였다. NTD Si의 세계시장 규모가 연간 1백t인 점을 감안할 경우 최소한 15%를 점유할 수 있는 셈이다. 전 박사팀은 "이번 기술개발에 따라 단결정 실리콘 반도체 웨이퍼를 만드는 것이 가능해졌다"며 "이번 생산기술을 활용할 경우 국내 반도체산업의 수준을 한 단계 끌어올릴 수 있을 것"이라고 밝혔다. 연구용 원자로 하나로는 원자력연구소가 자체 설계해 1995년 운전에 성공한 실험용으로 원자력 연구를 비롯 나노기술(NT) 생명공학기술(BT) 환경기술(ET) 등 다양한 분야에 활용되고 있다. 오춘호 기자 ohchoon@hankyung.com