반도체 제조용 칠러(자동온도조절장치) 제조업체인 라셈텍(대표 윤배원)이 최근 반도체 공정에 쓰이는 고순도 질소가스의 온도를 제어할 수 있는 초정밀 칠러 항온기술을 국내 최초로 개발했다.

이번에 개발된 기술은 세정 및 클린룸 등의 공정에 많이 사용되는 질소가스를 외부환경의 영향을 받지 않고 섭씨 0.01도 편차로 유지시켜 주는 역할을 한다.

라셈텍측은 "일반 칠러의 경우 0.1도 편차 내에서 유지해 주기 때문에 신기술 개발로 10배의 개선효과를 가져다 줄 수 있다"고 강조했다.

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고경봉 기자 kgb@hankyung.com