나노반도체 실용화기술 첫 개발 .. 최원봉 박사팀 개가
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탄소나노튜브를 활용, 반도체 소자를 만들 수 있는 핵심 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.
과학기술부의 지원을 받는 '테라급 나노소자 개발사업단' 최원봉 박사(삼성종합기술원) 연구팀은 세계 최초로 탄소나노튜브의 위치를 제어할 수 있는 기술을 개발했다고 20일 밝혔다.
지금까지 미국 IBM 등이 탄소나노튜브로 반도체 소자를 만들어낸 적이 있지만 위치 제어가 되지 않아 실용화에 한계가 있었다.
그러나 이 기술로 집적도가 0.2테라비트(1기가비트급의 2백배) 이상의 반도체를 개발할 수 있는 길이 열렸다고 연구팀은 설명했다.
연구팀은 알루미늄 산화반응조절에 의해 ㎚(나노미터.1㎚는 10억분의 1m) 크기의 구멍을 만들어 이 안에서 나노튜브를 성장시켰으며 이 튜브를 반도체 단위 소자로 구성하는데 성공했다.
김남국 기자 nkkim@hankyung.com