경기도 광주에 있는 에이스하이텍(대표 장정수)은 지난 1993년 설립된 반도체 장비 업체다. 반도체 집적도가 높아지면서 반도체 웨이퍼 회로의 불필요한 박막을 연마하는 공정에서의 높은 정밀도가 요구되고 있다. 이에 따라 실리콘웨이퍼의 표면을 평평하게 하는 반도체 전 공정 장비인 CMP(Chemical Mechanical Polishing)의 수요가 급증하고 있다. 에이스하이텍은 CMP공정에 필수적으로 소요되는 소모품인 슬러리를 개발해 생산하는 회사다. 슬러리는 웨이퍼와 패드와의 윤활작용과 화학적 반응을 통해 웨이퍼 표면을 평평하게 하는 소모품.반도체 집적도가 높아지고 구리배선 공정이 도입되면서 슬러리의 수요가 급속히 증가하고 있다. 슬러리는 제품 특성상 반도체 제조공정에서 채택되면 쉽게 교체하기 어려운 제품이다. 또 제품 개발과 생산을 위해서는 높은 기술력이 필요하며 제조시설에 상당한 자금이 소요돼 벤처기업으로는 진입장벽이 매우 높다는 것. 에이스하이텍이 개발한 슬러리는 기존 퓸드실리카(Fumed Silica)에 비해 입자지름이 5분의1에서 10분의1 수준으로 웨이퍼상에 나타나는 스크래치를 근본적으로 해결할 수 있는 제품.세계적으로 가장 큰 시장 점유율을 갖고 있는 미국의 EKC의 테스트 결과 외국 제품에 비해 품질이 우수하다는 평가를 받아 주문자생산방식(OEM)오더를 받고 있다. 아울러 에이스하이텍은 슬러리외에도 화학증착장비(CVD),이온 임플란터,스퍼터 등의 반도체장비에 사용되는 핵심 부품을 개발해 하이닉스,삼성전자,주성엔지니어링 등에 공급하고 있다. 지난해 75억원의 매출에 25억원의 순이익을 올린 에이스하이텍의 장정수 대표는 "급증하고 있는 매출과 순익을 바탕으로 핵심 반도체 장비 개발에 투자를 집중하고 있다"며 "코스닥 등록도 추진할 계획"이라고 말했다. (031)763-6240 서욱진 기자 venture@hankyung.com