반도체 생산라인 등에 사용할 수 있는 초정밀 원자현미경이 한국기업에 의해
세계 최초로 개발됐다.

PSIA(대표 박상일)는 반도체 CD롬, DVD(디지털비디오디스크)등 컴퓨터
저장매체의 가공상태를 검사하는 산업용 원자현미경을 개발했다고 12일
밝혔다.

반도체 웨이퍼 검사용 시제품의 경우 지난해말 국내 반도체제조회사에
공급됐다.

상반기중 현장테스트를 마치면 본격 주문생산에 들어간다.

또 CD롬과 DVD 검사용 장비는 대만 업체에 이미 2대가 수출됐다.

"제3세대 현미경"으로 불리는 산업용 원자현미경(모델명 SM5)은 광학현미경
과 전자현미경에선 불가능한 0.01nm(나노미터:1nm는 10억분의 1m)단위의
극미세현상을 다루는 초정밀 기술의 결정체.

수소원자의 직경이 대략 0.1nm인 점을 감안하면 원자와 분자를 하나하나
관찰할 수 있다.

1세대인 광학현미경의 관찰범위는 0.5미크론m(1미크론m는 1백만분의 1m),
2세대인 전자현미경은 수십nm에 불과하다.

기존 전자현미경은 전자빔을 쏴 물체를 분자단위까지 측정한다.

반면 원자현미경은 원자 하나가 붙을 정도의 극미세 탐침(Probe)을 장착,
탐침과 원자간에 작용하는 힘 등을 매개로 물체의 물리적.전기적 성질을
측정한다.

여기에 첨단 인공지능을 내장, 완전자동화된 기가바이트(GB)급 반도체
생산라인 등에 자유자재로 설치할 수 있다.

(02)586-2900

< 정한영 기자 chy@ >

( 한 국 경 제 신 문 1999년 4월 13일자 ).