삼성정밀화학은 자회사인 한덕화학이 64메가D램 반도체 현상액을 국산화
하는데 성공했다고 4일 발표했다.

삼성은 울산 삼성정밀화학 공장내에 연산 2천2백t 규모의 설비를 갖추고
이달부터 양산에 들어갔다.

이 반도체 현상액은 반도체 웨이퍼칩 공정에 사용되며 ppt(1조분의 1)
단위의 순도가 요구되는 초정밀 제품이다.

그동안 연간 2백억원 어치 이상이 전량 수입돼 왔다.

삼성 관계자는 "현상액을 개발함에 따라 삼성그룹 차원에서는 세계 최초로
반도체 기초 원료에서 완제품까지 일관생산공정을 갖추게 됐다"고 설명했다.

< 권영설 기자 yskwon@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 9월 5일자 ).