신성에이스(대표 김광영)는 초정밀 반도체 생산공정에 필수적인
"암모니아측정기"(모델명 AMS1)를 개발, 연간 20억원의 수입대체효과가
예상된다고 1일 밝혔다.

이 회사가 지난 2년간 3억여원을 들여 국산화에 성공한 AMS1는 초청정
상태를 유지해야하는 64메가D램 이상급의 반도체 생산라인에서 공기중
암모니아분자(NH3) 농도를 측정하는 장비다.

암모니아분자는 대기농도가 1ppb(10억분의 1)정도인 일반 가스분자보다
수십배 높은 20~50ppb에 달하는데다 화학반응도가 높아 고집적 반도체
생산에 치명적인 물질로 알려져 있다.

특히 우리나라 반도체업체의 주력품목인 64메가D램은 암모니아분자
농도가 1~5ppb를 넘을 경우 생산이 거의 불가능하다.

신성에이스가 이번에 개발한 암모니아측정기는 수입품에 비해 값이 싸고
성능도 우수하다고 회사측은 밝혔다.

외국장비의 측정가능단위가 1ppb정도인데 비해 AMS1은 0.1ppb까지
측정할수 있으며 소모품등 관리비용도 수입품의 25~30%에 불과하다는 것.

장비값은 6만달러로 수입장비(20만달러)의 3분의 1 수준.

신성에이스는 다음달부터 삼성전자와 현대전자의 미국 현지법인에 장비를
납품하고 일본 후지쓰와 NEC도 샘플장비 성능실험에 들어가는 만큼
수출전망도 밝다고 말했다.

(042)825-1181

< 정한영 기자 chy@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 6월 2일자 ).