반도체생산 필수공정 `확산로' 국산화...서울일렉트론

서울일렉트론(대표 채인철)이 반도체생산 필수공정중의 하나인 확산로(Diff
usion Furnace)를 국산화했다.

이 회사가 개발한 확산로(모델명 SMF-8000)는 연구소나 대학교 등에서 실험
용 등으로 사용할 수 있는 소형제품이다.

정부출연연구기관이나 대학 등에서 연간 약 30여대의 확산로 수요가 있어
수입대체효과는 50여억원으로 추정된다.

회사측은 이 제품이 가벼우면서도 정교한 컨트롤이 가능하고 유연성 내구성
등이 뛰어나다고 설명했다.

특히 소형이면서도 대형의 컨트롤방식과 요소구조를 갖추고 있어 반도체 및
화합물 소자의 생산라인에서도 사용이 가능하다.

산화막형성, 확산, 열처리, 감압화학증착(LPCVD)등을 할 수 있다.

이번에 개발된 제품은 기존 아날로그방식을 디지털화 했으며 챔버내부를 3
개의 방으로 나눠 확산로의 생명인 온도안정성을 섭씨 0.5도내로 축소시켰다

서울일렉트론은 이 제품의 개발과 함께 서울대반도체연구소등 3곳에 5대를
공급키로 계약을 체결했다.

서울일렉트론은 지난 86년 국내최초로 "플라즈마를 이용한 웨이퍼표면처리
장치"를 개발하는등 반도체생산장비의 국산화에 앞장서 왔다.
(02)783-7891 노웅 기자

( 한 국 경 제 신 문 1998년 5월 4일자 ).