뉴파워(대표 최대규)가 국내 기업으로는 처음으로 고주파 전원공급시스템을
양산한다.

이 시스템은 플라즈마 용접등 플라즈마를 이용하는 정밀공정의 핵심설비로
반도체 웨이퍼 가공용이 대부분의 시장을 차지하고 있다.

삼성 현대 LG등 반도체 3사는 이 시스템을 미국 일본등에서 전량수입해
쓰고 있으며 국산은 연구소나 대학등에 소량 납품되고 있는 실정이다.

연간 3백56억원의 내수시장에서 국산은 2%미만의 점유율을 보이고있다.

뉴파워는 한국산업대 장우진교수팀과 공동개발한 13.56MHz RF 제너레이팅
시스템의 양산체제를 갖추기로 하고 5월말까지 5억원을 투입할 계획이라고
17일 밝혔다.

최근 동남아에 3만달러어치를 첫 수출키로 하는등 해외주문이 몰려들고
있어 양산에 어려움이 없을 것으로 이 회사는 전망했다.

이 시스템은 한번 양산라인을 갖추면 24시간 풀 가동해야 수율이 맞는
특성 때문에 수요처가 확실치 못하면 양산에 나서기가 힘들다.

현대전자가 이 시스템에 대한 신뢰성 테스트를 하고있어 최종결과가
나오는 내년초께 국내 반도체 생산공장에 본격적으로 공급할 수 있을 것으로
뉴파워는 보고있다.

최사장은 "국산 시스템이 산업현장에 쓰이지 못했던 것은 신뢰성에 문제가
있었기 때문"이라며 "이 시스템의 핵심기술인 오토매처(자동정합기)의 경우
최근 반도체 3사에 30대를 공급하는등 신뢰성을 인정받은 상태"라고 말했다.

오토매처는 플라즈마 가공기에 부착된 센서와 반응, 적절한 전원을 공급할
수 있도록 하는 역할을 한다.

뉴파워는 양산에 나서는 고주파 전원공급장치가 외제에 비해 성능과
가격대비면에서 모두 앞서 있다고 강조했다.

크기는 절반, 무게는 3분의 2수준으로 소형이다.

효율도 80%로 외제(60%)보다 높고 가격은 외제의 65-70%수준이라고
회사측은 설명했다.

02-3426-6895

< 오광진 기자 >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 4월 18일자 ).