(주)진일특수(대표 이희용)가 국내최초로 반도체 제조용 고순도 가스공급라
인의 전해연마처리기술(EP: Electric Polish )을 개발했다고 2일 밝혔다.

이기술은 반도체 생산라인의 고순도 가스공급 튜브, 피팅( Fitting), 밸브
등의 표면을 전기화학적 산화막형성으로 평면조도 0.7이하로 거울보다 평면
조도가 뛰어나게 연마하는 것으로 그동안 이기술이 없어 가스공급부품을 전
량 수입해왔다.

회사는 이기술을 한양대부설 산업과학연구소, 한양기공과 공동으로 2년간
총35억원을 투자해 개발했다.

이 회사는 경기도 시화공단내 1천6백평의 대지에 EP공정 전용시설을 갖추고
이달말부터 본격 가동에 들어간다.

이번에 양산하는 제품은 가스파이프를 연결하는 피팅으로 연간 수입대체 규
모가 3천만달러에 이를 전망이다. (0345)( 491 )0601 < 고지희기자 >

(한국경제신문 1997년 2월 3일자).