반도체용 특수가스 제조업체인 슈마커코리아(대표 김교성)가 시화공단에
공장을 완공하고 본격 가동에 들어갔다.

2일 이회사는 총30억원을 투자해 반도체 제조공정에 사용하는 고순도화학
약품을 생산할수있는 첨단 생산설비를 갖추고 양산에 들어간다고 밝혔다.

슈마커코리아는 산업용 가스및 특수가스 전문업체인 한국산업가스가
미국의 반도체용 화학약품및 장비제조업체인 슈마커사와 합작으로 지난해말
설립한 회사이다.

시화공장에서는 화학증착으로 웨이퍼 표면에 실리콘을 입히는 공정에서
사용되는 화학약품인 TEOS를 주력품목으로 연간30t씩 생산한다.

TEOS제품은 현재 국내 반도체 업체수요가 연간 5백억원에 이르고있으며
이회사는 올해 월10억원어치정도를 공급할 계획이다.

회사측은 이달중에 각종 실험분석시스템을 완비해 자체 실험과 국내
반도체 소자업체의 성능실험을 거쳐 내년초부터는 본격 공급을 시작할
계획이다.

또 내년부터는 오존층을 파괴하는 TCA의 대체품으로 각광받고있는 트랜스
-LC등 차세대 반도체 화학약품도 생산할 계획이다.

이밖에 국내 반도체 업체의 수급 전망에 맞춰 99년에는 반도체 웨이퍼의
알루미늄 증착에 사용하는 약품을,2000년에는 동소재 증착용 약품을 생산할
구상이다.

< 고지희기자 >

(한국경제신문 1996년 7월 12일자).