단결정 완전자동성장 장치 개발 .. 자원연구소 장영남박사팀

반도체소자나 레이저발진소자등 첨단기기의 핵심부품에 쓰이는 고품질의
단결정을 손쉽게 성장시킬수 있는 장치가 국내연구진에 의해 세계 처음으로
개발됐다.

한국자원연구소 광상연구부 장영남박사팀은 은성기연과 공동으로 지난
2년간 연구끝에 무접촉방식의 단결정성장 자동화장치를 개발, 시제품생산에
성공했다고 9일 발혔다.

이 장치는 적외선을 이용해 성장하는 단결정의 무게변화를 초단위로
자동감지하는 센서를 부착, 고순도 고품질의 단결정이 성장되도록 하는
것으로 지속성 안정성 정밀성이 기존 장치에 비해 10배~1백배 높은 것이
특징이다.

이에따라 첨단소재용 고품질 단결정인 반도체용 실리콘이나
갈륨아세나이트, TV VTR 필터용 소재인 초음파발생용 단결정, 그린레이저
발생장치등 미래형단결정을 무인 자동성장시키는데 효과적으로 사용할수
있다고 장박사는 설명했다.

단결정은 고부가가치 첨단장비제작에 필수적인 원천물질로 인공성장공정을
거쳐 생산되는데 그동안 완전 자동화성장장치가 개발되지 않아 생성된
단결정의 수율이 10%~50%선에 머물렀었다.

장박사팀은 이 장치및 운영소프트웨어를 일본등지에 특허출원할 계획이며
은성기연은 일본 독일등지로 수출을 추진중이다.

<김재일기자>

(한국경제신문 1996년 7월 10일자).