[도쿄=김형철특파원] 미쓰비시전기가 새로운 전자소자재료로 주목을 모으고
있는 탄소물질 플로렌(C60)을 반도체재료로 쓸수있는 단결정박막으로 만드는
데 세계최초로 성공했다고 니혼게이자이신문이 12일 보도했다.
이신문은 플로렌을 이용한 단결정박막은 내열성및 내방사선성이 뛰어나고
고집적화도 가능해 실리콘 갈륨 비소에 이어 새로운 반도체기판을 제조하는
길이 열리게 됐다고 전했다.
미쓰비시전기는 섭씨2백도로 가열한 백운모를 기판재료로 사용하고 기판위
에서 ICB(클러스터 이논 빔)법을 이용, 플로렌을 규칙적으로 배열하고 단결
정박막화시키는데 성공했다. ICB법은 원자나 분자집단을 이온화한 후 전압을
가해 이온움직임을가속시키는 방법이다.
미쓰비시전기는 ICB법을 이용하면서 이온화조건및 가속조건을 조절한 결과
백운모기판전면에 걸쳐 두께 15나노(1나노는 10억분의1)미터의 단결정박막이
생성됐다고 밝혔다.