전자부품기술연구소, 반도체재료 국내처음 개발

상공부산하 정부출연연구기관인 전자부품종합기술연구소(KETI)는 24일
고집적반도체재료인 대구경웨이퍼용인고트(실리콘단결정)의 8인치급과
10인치급을 국내최초로 개발했다고 발표했다.

8인치와 10인치 인고트는 16메가D램이상의 고집적반도체소자의 핵심소재로
반도체선진국들도 개발경험이 별로 없는 차세대반도체용으로 평가되고
있다.
현재 국내에서 일부 생산하고 있는 6인치 인고트는 4메가D렘이하의
반도체소자재료로 사용되고 있으나 기술을 외국에 의존,과다한
기술도입대가가 지불되고 있는 실정이다.

KETI가 개발한 시제품은 현공정 최대치인 45 보다 2배나 큰 90 급이다.

KETI는 이기술의 개발로 연간 2억달러이상의 무역수지개선효과를 거둘수
있을 것으로 전망했다.

현재 국내 인고트생산업체는 실트론 1사로 5인치급과 6인치급을
생산중이며 포스코휼즈가 연말가동을 목표로 8인치급 생산라인을
설치중이다