SMEC가 반도체 카세트 이송장비와 관련된 특허를 취득했다고 18일 밝혔다.

더블암식 3단 카세트 이송 로봇은 클린룸 환경에서 반도체 웨이퍼, LCD 글라스, 솔라셀 등을 이송하는 장비이다.

지난 해 11월 SMEC가 천장에 부착돼 업무를 수행하는 더블암식 2단 카세트 이송로봇을 개발한 바 있으며 이번 특허는 기존 기술을 업그레이드한 것이다.

SMEC에서 지난 해 개발한 더블암식 2단 카세트 이송 로봇은 현장 공간 효율의 극대화를 위해 바닥이 아닌 천장에 부착되는 방식으로 기존 이송장비와 차별성이 있었다. 이번 특허 기술의 가장 큰 변화는 로봇 몸체가 3단으로 접히도록 설계해 로봇의 움직임을 보다 자유롭게 한 것이 특징이다.

회사 관계자는 “클린로봇은 당사가 지속적으로 매출이 일어나는 분야이며 본 발명은 해당 분야의 업그레이된 기술”이라며 “지속적인 보완 및 발전과정을 거침으로써 더 완성도 높은 SMEC만의 기술을 개발할 것"이라고 밝혔다.

한경닷컴 최성남 기자 sulam@hankyung.com