티씨케이, 유도가열용 서셉터 제조 특허 취득
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반도체, 태양광 및 LED 관련 흑연부품업체인 티씨케이는 12일 공시를 통해 유도가열 서셉터(Susceptor) 및 그 제조방법에 대한 국내 특허를 취득했다고 밝혔다.
이 특허는 유도가열용 서셉터를 제조하는 방법으로 유도가열시 SiC 코팅층의 균열 또는 박리를 방지하여 고수명의 유도가열 서셉터를 제조하는 방법에 관한 특허라고 설명했다.
회사 측은 향후 LED 제조공정의 웨이퍼(Wafer) 실장용 서셉터 제조에 활용할 방침이다.
차희건기자 hgcha@wowtv.co.kr