광주과학기술원(GIST)은 박기환 기전공학과 교수팀이 외국산 장비에 비해 방진 효과가 향상된 '6축 능동 방진 테이블'을 국내 최초로 제품화하는 데 성공했다고 8일 밝혔다.

능동 방진 테이블은 속도 센서와 진동을 제어하는 작동기를 사용해 바닥이나 측면에서 들어오는 진동을 제어,테이블 위에 있는 장비에 진동이 전달되지 않게 하는 장치다.능동 방진 테이블은 미세한 나노계측 장비나 원자 현미경,반도체 제조 등 초정밀도가 요구되는 산업에 필수적인 장비로 수입 대체 효과만 50억원을 웃돌 것으로 추산된다.

박 교수팀은 상하ㆍ좌우ㆍ전후 등 모든 방향에서 오는 진동을 6개의 축에서 감지하고 제어함으로써 방진 효과를 높였다.이번에 개발된 제품은 외부에서 진동을 준 뒤 방진 테이블에 전달되는 진동을 측정한 결과 외국산 제품보다 진동률 제어가 30%가량 향상된 것으로 나타났다.GIST 기전공학과 실험실 벤처회사인 엠포시스㈜는 오는 8월께 이 방진 테이블을 상품화할 계획이다.

박 교수는 "이번에 개발한 장비는 저주파수 대역의 진동을 제대로 잡아낼 수 있어 외국산 능동 방진 시스템을 대체할 수 있을 것으로 기대된다"고 말했다.

황경남 기자 knhwang@hankyung.com