'극자외선' 값싸게 만드는 기술 개발

입력2008.06.05 09:41 수정2008.06.05 09:41

현미경 또는 반도체 개발 등 과학기술 전반에 광범위하게 응용할 수 있는 극자외선(EUV)을 간단한 나노 구조물을 활용해 값싸게 만들어내는 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

김승우 KAIST 기계공학과 교수(53)팀은 빛의 광자와 나노 크기 구조물 내부 전자의 상호작용을 통해 나타나는 '플라즈몬 공명현상'을 이용해 레이저의 특성을 갖는 '결맞는 EUV 광원'을 얻는 데 성공했다고 4일 발표했다.

이 같은 연구 결과는 과학저널 네이처 인터넷판 5일자에 실렸다.

이번에 만들어낸 극자외선 광원은 파장이 가시광선의 10~100분의 1인 5~50㎚(1㎚＝10억분의 1m) 정도인 레이저 광으로 의학과 생명공학에 필요한 현미경 기술이나 나노과학에 쓰이는 리소그래피 기술 등 광범위한 분야의 원천 과학기술 발전에 중요한 광원으로 주목받고 있다.

지금까지 극자외선 광원을 얻으려면 전자를 고에너지로 운동하게 할 수 있는 대규모 가속기가 필요했다.

김 교수팀은 이번 연구에서 극자외선 광원을 랩톱컴퓨터 크기로 만드는 것이 가능하다는 것을 실험으로 입증했다.

황경남 기자 knhwang@hankyung.com

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