미국 반도체 검사장비업체 폼팩터가 국내 파이컴을 상대로 낸 특허침해금지 가처분신청이 기각됐다.

이에 따라 지난 3년 동안 진행돼 온 두 회사 간의 특허분쟁에서 파이컴이 최종 승소할지 주목되고 있다.

파이컴은 자사 멤스카드(MEMS CARD)에 대해 폼팩터가 제기한 특허침해금지 가처분신청에서 서울중앙지방법원이 "파이컴의 멤스카드가 폼팩터의 특허를 침해했다는 증거가 없다"며 기각 결정을 내렸다고 13일 밝혔다.

멤스카드는 100nm(나노미터) 이하의 반도체칩을 탐지,반도체 웨이퍼를 기존 제품보다 4~5배 이상 빠른 속도로 검사하는 차세대 검사장비.폼팩터는 세계 최초로 멤스카드를 개발해 약 5000억원 규모인 이 분야 세계 시장의 60%가량을 점유하고 있다.

파이컴은 지난해 하이닉스반도체와 대만 반도체 업체들에 멤스카드를 공급해 350억여원의 매출을 올렸다.

양사의 분쟁은 2003년 말 파이컴이 폼팩터에 이어 세계 두 번째로 멤스카드를 선보이면서 시작됐다.

폼팩터는 이듬해 2월 파이컴이 자사 특허 4건을 침해했다며 서울중앙지법에 특허침해금지소송을 제기했고 파이컴은 이에 맞서 같은 해 5월 특허심판원에 특허등록무효심판을 냈다.

특허심판원에서는 폼팩터의 특허 4건이 모두 유효로 인정됐다.

파이컴은 즉각 항소,2심인 특허법원에서 4건 가운데 3건에 대해 무효 판결을 얻어냈다.

이에 폼팩터는 유효로 인정된 1건의 특허로 지난해 8월 가처분 신청을 제기했으나 이번에 패소한 것.파이컴 관계자는 "이번 가처분 신청 기각이 계류 중인 본안소송에 결정적인 영향을 줄 것"이라며 "최종 승소 가능성이 매우 높은 것으로 보고 있다"고 말했다.

임도원 기자 van7691@hankyung.com