주성엔지니어링 산화막 증착방법 특허 취득

입력2006.04.02 12:14 수정2006.04.02 12:18

21일 주성엔지니어링은 탄탈륨 산화막 증착방법에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 한경닷컴 강지연 기자 serew@hankyung.com

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