APTC, 반도체장비 하이닉스 납품..기판 식각장비 2대

반도체장비 제조업체인 APTC(대표 김남헌)가 반도체 기판 식각장비인 '플라즈마 메탈 에칭챔버' 2대를 하이닉스반도체에 납품했다고 3일 밝혔다.

이 제품은 반도체 기판에 필요 소자를 배치하는 가공을 할 때 필요없는 부분을 플라즈마를 통해 부식시켜 제거하는 장비다.

플라즈마 메탈 에칭챔버는 2002년 하이닉스반도체와 공동개발 계약을 맺은 후 양산 검증을 통해 작년 2월 개발을 끝냈다.

김남헌 APTC 사장은 "식각속도 및 회로선폭의 균일도가 기존 제품보다 높은 데다 전력소모도 절반 이하라서 원가절감에 효과가 크다"며 "국내 수입대체 효과는 물론 수출도 기대된다"고 말했다.

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임상택 기자 limst@hankyung.com