삼성전자가 주요 반도체장비를 직접 개발하기 시작했다. 윤종용 부회장은 반도체사업의 경쟁력을 확보하기 위해 핵심장비 관련기술을 자체 개발하기로 했다는 방침을 공식 확인했다. 윤 부회장은 "반도체 사업에는 장비가 중요한 역할을 차지하지만 중소업체들은 핵심설비개발에 투자할 여력이 없다"며 이같이 밝혔다. 이와 관련,삼성전자는 최근 사내에서 장비개발을 담당하고 있는 생산기술센터의 역할을 강화하는 방안과 한국DNS 등 출자회사를 통해 신규 장비를 개발하는 방안을 추진하고 있다. 생산기술센터는 지난해 말 반도체 생산공정 경력자를 모집했다. 생기센터가 반도체 공정 경력자를 뽑은 것은 이번이 사실상 처음으로 반도체 장비개발과 관련한 움직임이 가시화된 것으로 해석되고 있다. 삼성전자와 일본 DNS사의 합작회사로 세정장비 전문업체인 한국DNS가 회로를 식각하는 3백㎜ 웨이퍼용 드라이 에처를 개발한 것도 자체적인 장비개발을 강화하려는 일환으로 업계에서는 받아들이고 있다. 또 삼성전자는 CVD(화학기상증착) 장비를 개발하기 위해 관련업체인수에도 관심을 보이고 있는 것으로 알려졌다. 삼성은 이미 계열사인 삼성테크윈에서 장비사업을 강화하고 있으며 한국DNS, 한국도와 등의 장비업체에 지분을 출자하고 있다. 장비업계에서는 삼성이 직접 장비업에 진출하는 것이 아니냐며 긴장하고 있지만 윤 부회장은 "기술개발 후 외주를 주거나 기술이전을 할 것"이라고 말했다. 비핵심사업을 분사하는 추세인데 장비사업에 새로 진출할 이유는 없다는 설명이다.