주성엔지니어링은 18일 반도체 식각장비(에처,Etcher)업체인 에이티엘의 지분 59.5%를 인수해 경영권을 확보했다고 밝혔다. 주성엔지니어링은 "이번 인수로 화학증착장비(CVD)부문에 이어 시장이 큰 식각장비 부문에 본격 진출하게 됐다"며 "두 회사가 R&D(연구개발)중복투자를 피해 선택과 집중을 통한 시너지효과를 거두게 될 것"이라고 설명했다. 또 "핵심기술인 플라즈마 관련 제조기술과 다양한 특허를 보유하게 돼 옥시드에치(Oxide Etch)나 폴리에치(Poly Etch)분야의 핵심기술을 모두 확보,국내 식각장비 분야에서 상당한 시장지배력을 갖게 될 것"으로 기대했다. 반도체장비 연구개발 업체인 에이티엘은 반도체 전공정 장비중 하나인 식각장비 개발에 2년여 동안 투자해 왔으며 지난 11일 3백㎜ 웨이퍼용 식각장비를 국내 소자업체에 납품하는 등 기술경쟁력을 인정받고 있다. 박기호 기자 khpark@hankyung.com