케이씨텍(대표 고석태)이 계열사를 통해 국내 최초로 실리콘카바이드 코팅(SIC)사업에 나서는 등 사업다각화를 통해 종합 반도체장비 그룹으로 도약한다.

이 회사는 모기업인 케이씨텍을 비롯해 자회사인 한국파이오닉스,한국에이디씨에스,한국고요써모시스템,한국도카이카본,디오이 등 6개사의 설비투자를 크게 늘리고 있다고 28일 밝혔다.

이 가운데 한국도카이카본은 내년중 SIC사업에 나서기로 했다.

반도체나 웨이퍼 제조공정에 사용되는 각종 장비의 소모품을 코팅하는 사업이다.

장비 수명이 길어지고 생산품의 품질을 높이는 첨단기술인데 국내 기술이 개발되지 않아 그동안 전량 외국에서 코팅을 해왔다.

이를 위해 공장 부근에 1천4백평의 부지를 매입,하반기중 착공할 예정이다.

모기업인 케이씨텍은 45억원을 투자해 웨트스테이션 장비 분야에 새로 진출했다.

주력 제품을 가스캐비닛과 가스스크러버에서 메인공정장비분야로 확대한 것이다.

지난 상반기중 설립된 디오이는 반도체플랜트 설계 시공사업에 나선다.

가스와 화학약품 공급시스템을 턴키로 수주,설계한 뒤 건설하는 것이다.

일본 파이오닉스와 합작 설립한 한국파이오닉스는 10억원을 투자해 가스순화장치와 가스정화장치의 생산능력을 2배로 늘리고 있다.

설비는 올 9월 완료될 예정이다.

미국 ATMI와 합작회사인 한국에이디씨에스는 하반기중 사명을 ATMI코리아로 바꾸며 생산품목인 화학약품 종류를 다양화하기로 했다.

일본 고요서모씨스템과 합작회사인 한국고요서모씨스템은 반도체용 소성로(爐)사업을 확대키로 했다.

케이씨텍은 계열사를 포함한 설비투자 규모가 올해 2백억원,내년에는 1백억원에 이를 것으로 전망했다.

올해는 주로 공장건설과 설비증설에 나서고 내년에는 연구개발투자에 집중키로 했다.

이들 기업의 공장은 모두 안성에 있다.

이에 따라 매출도 크게 늘어날 것으로 보고 있다.

지난해 반도체 계열사를 포함한 매출이 5백50억원 수준이었으나 올해는 1천1백억원,내년에는 1천6백억원에 이를 것으로 보고 있다.

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김낙훈 기자 nhk@hankyung.com