셀라이트(대표 홍성균)는 새로운 웨이퍼 엣지(wafer edge) 검사장치
"엣지-2000"을 개발했다고 5일 밝혔다.

반도체의 주재료인 웨이퍼 엣지에 흠집이 있으면 열공정 생산 과정을 견디지
못해 대부분 깨지게 된다.

충북대 전기전자공학부와 1년여의 산학협동을 통해 완성한 이 장비는 최신
이미지 프로세싱 기술을 적용했다.

따라서 눈으로는 판별할 수 없는 결함까지 찾아낼 수 있다는 게 회사측
설명이다.

현재 한국은 물론 미국 대만 등지에 특허를 출원하고 있다.

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< 서욱진 기자 venture@ked.co.kr >


( 한 국 경 제 신 문 2000년 3월 6일자 ).