[산업II면톱] 4기가 D램용 감광제 양산..현대전자, 세계최초

현대전자는 세계 최초로 4기가 D램 제조용 감광제인 ArF(아르곤
플로라이드)의 양산기술화에 성공, 이를 해외 수출한다고 9일 발표했다.

현대가 이번에 대량생산에 성공한 ArF 감광제는 D램 반도체를 최소
0.10미크론m(1미크론m은 1백만분의 1m)으로 설계할 수 있는 초고감도
감광제이다.

이는 현재 사용중인 KrF(크립토 플로라이드)감광제와 비교할때 최소설계
가능 회로선폭(0.15미크론m)이 33%이상 개선된 고감도 감광제이다.

현대전자는 지난해 7월 세계 처음으로 ArF를 개발한데이어 이번에 양산화에
성공함으로써 D램의 고집적화기술에서 한발 앞서게 됐다고 밝혔다.

또 세계반도체협회가 차세대 감광제개발 지연으로 4기가 D램 개발시기를
2003년 이후로 전망했으나 이번 양산으로 2년정도 앞당길 수 있을 것으로
전망했다.

현대는 ArF양산 기술을 반도체 재료전문업체인 스위스의 클라리언트에
수출키로 계약, 앞으로 판매액의 일정비율을 기술료로 받게된다고 밝혔다.

감광제 세계시장은 올해 2천5백억원에서 2000년경 6천7백억원으로 늘어날
것으로 예상된다.

현대는 ArF 양산 기술을 설계회로 촬영기구인 스테퍼가 도입되는 2000년부터
자체 2백 56메가 D램 생산라인에 적용할 계획이다.

ArF를 4기가 D램용으로 개발했지만 2백56메가 D램 제조공정에 사용하면
고집적화로 웨이퍼당 생산갯수를 늘릴수있어 생산단가가 크게 줄어든다고
현대는 밝혔다.

감광제란 반도체제조공정에서 칩설계도를 웨이퍼상에 전사시킬때 사용하는
것으로 반도체제조를 사진촬영과 비교할때 필름표면의 감광제에 해당하는
핵심재료이다.

< 박주병 기자 jbpark@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 12월 10일자 ).