반도체장비업체인 유니온산업(대표 김경균)은 반도체 제조공정에서 독성
화학가스를 물을 사용하지않고 정화해주는 드라이 가스 스크러버를 국내
최초로 개발해 양산한다.

총 8억원의 개발비가 들어간 이 제품은 반도체 웨이퍼 표면에 막을
입히는 증착과정등에 사용하는 독성가스를 전기연소로 정화해주는 장비이라
이 제품은 기존의 수입품이 수냉식인데 비해 공기로 열을 내리는 공냉식이다.

수냉식은 유독 가스가 타면서 발생한 재에 물을 분사하기 때문에
이과정에서 독성 연기가 발생해 기기를 부식시킬 우려가 있고 독성 폐수가
발생하는 문제점을 해소한 제품이다.

세계적으로도 이같은 방식으로 제품화해서 내놓기는 이번이 처음이다.

이회사는 이제품을 1차로 삼성전자의 반도체 생산라인에 공급키로하는
한편 나머지 국내 반도체 업체에도 공급해 사업 첫해에 약 2백대를 판매할
계획이다.

이와함께 국내 특허출원과 미국 일본 대만에 국제 특허를 출원하고 해외
수출에도 본격적으로 나선다.

회사측은 내수판매 가격이 대당 3천만원선으로 1억원대인 수입품에 비해
저렴해 국내 수요 충당뿐아니라 전세계 수출 전망도 밝게 보고있다.

유니온산업은 지난 88년 설립한 반도체 가스 스크러버 장비제조업체로
올들어 일본산소사에 화학처리 방식의 가스스크러버를 1백만달러어치
역수출했다.

올해 매출규모는 1백50억원이며 이번에 개발한 드라이 가스 스크러버의
매출이 본궤도에 오르면 오는 2000년에는 외형 1천억원을 돌파한다는 목표
이다.

< 고지희기자 >

(한국경제신문 1996년 8월 22일자).