산업과학기술연구소(RIST)가 러시아와 공동으로 초고진공 다목적 증착장비
를 개발했다.

13일 산기연은 전자소재연구팀 양충진박사팀이 러시아의 모스크바핵물리대
학과 공동으로 진공증착장비를 개발했다고 밝혔다.

진공증착장비는 금속이나 금속산화물을 레이저등으로 분말로 만들어 기판위
에 얇은 막으로 만드는 장비로 반도체나 전자소자등의 연구개발및 생산에 필
요한 장비이다.

이장비로 1백억분의 1토르( Torr .진공도를 나타내는 단위)의 진공상태를
만들어낼수 있으며 이 진공을 만드는데 걸리는 시간이 1시간으로 짧다.

또 레이저총 1대와 진공열증착도가니 2대를 갖춰 레이저에 의한 증착과 열
에 의한 증착작업을 동시에 할수 있어 한기판위에 최대 6층의 박막을 만들수
있다.

박막의 두께는 옹스트롱에서 미크론수준(1천만분의 1m에서 1백만분의 1m)까
지 조절할수 있고 레이저증착과정을 컴퓨터로 정밀하게 제어할수 있어 레이저
분자빔 박막제조가 가능하다.

양박사는 이장비를 새로운 조성의 자성박막개발연구에 이용 새로운 자성체를
찾아내 자기센서소자 이동통신용 고주파부품소자등에 응용하는 연구를 하고
있다고 밝혔다.

또 이장비를 이용해 전자소자용 단결정 다결정박막 이동통신용 고주파부품에
사용되는 박막을 가공할수 있다고 설명했다.

< 정건수기자 >

(한국경제신문 1995년 4월 14일자).