반도체화합물 증착장치 자체 개발
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삼성종합기술원은 13일 그동안 수입에 의존해오던,반도체 제조과정의 필수
설비인 "금속유기물 화학증착장치"(MOCVD)를 자체개발했다고 밝혔다.
이번에 개발된 증착장치는 실리콘으로 이뤄진 반도체기판위에 인디움,갈륨
류의 화합물반도체 박막을 덧씌우도록 하는 핵심설비로서,그동안 국내기업들
은 액시트론사,토마스 스완사등 미,일반도체설비전문회사로부터 대당 7억원-
10억원의 고가에 수입해왔다.
이번 자체개발로 인해 삼성전자측은 앞으로 관련설비를 모두 자체조달할 수
있게 된 것은 물론 외국설비업체가 미리 짜놓은 제조공정에 맞춰 공정개발을
해온 기존의 방식에서 탈피,독자적인 공정기술의 개발도 가능하게 됐다.
설비인 "금속유기물 화학증착장치"(MOCVD)를 자체개발했다고 밝혔다.
이번에 개발된 증착장치는 실리콘으로 이뤄진 반도체기판위에 인디움,갈륨
류의 화합물반도체 박막을 덧씌우도록 하는 핵심설비로서,그동안 국내기업들
은 액시트론사,토마스 스완사등 미,일반도체설비전문회사로부터 대당 7억원-
10억원의 고가에 수입해왔다.
이번 자체개발로 인해 삼성전자측은 앞으로 관련설비를 모두 자체조달할 수
있게 된 것은 물론 외국설비업체가 미리 짜놓은 제조공정에 맞춰 공정개발을
해온 기존의 방식에서 탈피,독자적인 공정기술의 개발도 가능하게 됐다.