[특허정보] 가스 불순물 제거장치 ; PC용 인터럽트 시스템
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<>.가스 불순물 제거장치 (공고번호 1230 출원인 삼성전자)
반도체제조에서 사진공정에 이용되는 레이저장치에 관한 고안.
특히 레이저장치에 공급되는 가스내의 불순물을 제거함으로써 레이저장치
의 광감도를 높이고 수명을 연장시켰다.
주입되는 가스내의 불순물을 레이저광으로 분해한후 이를 증착시키는
석영및 형석플레이트로 이루어진 박스를 가스정제기와 레이저장치 중간에
설치한 점이 특징.
<>.PC용 인터럽트 시스템 (1271 대우통신)
인터럽트 라인이 설치되어 있는 PC에 있어서 각 라인의 상태를 검출하고
선택하기 위한 장치.
인터럽트 라인상황을 인터럽트 데이터처리시스템에 의해 파악하고 사용
되지 않는 인터럽트 라인을 검색한후 사용함으로써 조작의 편의성을 도모
하고 인터럽트 요구의 충돌로 인한 PC다운의 문제점을 해결했다.
반도체제조에서 사진공정에 이용되는 레이저장치에 관한 고안.
특히 레이저장치에 공급되는 가스내의 불순물을 제거함으로써 레이저장치
의 광감도를 높이고 수명을 연장시켰다.
주입되는 가스내의 불순물을 레이저광으로 분해한후 이를 증착시키는
석영및 형석플레이트로 이루어진 박스를 가스정제기와 레이저장치 중간에
설치한 점이 특징.
<>.PC용 인터럽트 시스템 (1271 대우통신)
인터럽트 라인이 설치되어 있는 PC에 있어서 각 라인의 상태를 검출하고
선택하기 위한 장치.
인터럽트 라인상황을 인터럽트 데이터처리시스템에 의해 파악하고 사용
되지 않는 인터럽트 라인을 검색한후 사용함으로써 조작의 편의성을 도모
하고 인터럽트 요구의 충돌로 인한 PC다운의 문제점을 해결했다.